Analisis komponen EDS
Pengenalan Proyek
Spektrometri dispersi energi (EDS) adalah teknik analisis yang digunakan untuk analisis dan karakterisasi sampel.Ini biasanya digunakan bersama dengan mikroskop elektron pemindaian dan mikroskop elektron transmisi untuk menganalisis jenis dan isi unsur-unsur di wilayah mikro bahan: sinar-X karakteristik yang dihasilkan ketika sinar elektron berinteraksi dengan bahan digunakan untuk memberikan informasi tentang komposisi kimia sampel,dan sebagian besar unsur (Be4-PU94) dapat dideteksi secara kualitatif dan semi-kuantitatif, dan kontaminan permukaan dapat dianalisis.

Laboratorium analisis komponen

Prinsip percobaan
Dalam mikroskop elektron pemindaian modern dan mikroskop elektron transmisi, spektrometer dispersi energi (EDS) adalah aksesori penting.Ini berbagi satu set sistem optik dengan mesin utama, dan dapat melakukan analisis titik, analisis permukaan, dan analisis garis pada komposisi kimia dari bagian-bagian yang menarik dalam bahan.

Keuntungan dari EDS
(1) Kecepatan analisis yang cepat dan efisiensi tinggi.Ini dapat melakukan analisis kualitatif dan kuantitatif yang cepat secara bersamaan dari semua unsur dengan nomor atom antara 11 dan 92 (bahkan unsur ultra ringan seperti C, N, dan O);
(2) Stabilitas yang baik dan kemampuan berulang yang baik;
(3) Dapat digunakan untuk analisis komponen permukaan kasar (pecahan, dll.)
(4) Dapat mengukur pemisahan komponen dalam bahan, dll.

Prinsip kerja EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

Struktur EDS
1Detektor: mengubah sinyal foton sinar-X menjadi sinyal pulsa listrik, dan ketinggian pulsa proporsional dengan energi foton sinar-X.

2Amplifier: memperkuat sinyal pulsa listrik.

3. Multi-channel pulse height analyzer: pulsa diprogram ke dalam saluran yang berbeda sesuai dengan ketinggiannya, yaitu,sinar-X karakteristik yang berbeda dibedakan sesuai dengan energi mereka.

4Sistem pemrosesan dan tampilan sinyal: spektrum identifikasi, perhitungan kualitatif dan kuantitatif; mencatat hasil analisis.

Analisis EDS
1Analisis kualitatif: Puncak dalam spektrum EDS mewakili elemen yang ada dalam sampel.mengidentifikasi elemen yang terkandungJika jenis unsur tidak dapat diidentifikasi dengan benar, keakuratan analisis kuantitatif akhir tidak berarti.tetapi untuk penentuan unsur minor atau jejak, hanya dengan hati-hati menangani interferensi garis spektrum, distorsi dan sistem garis spektrum dari setiap elemen dapat akurat.Analisis kualitatif dibagi menjadi analisis kualitatif otomatis dan analisis kualitatif manualAnalisis kualitatif otomatis menentukan posisi puncak sesuai dengan posisi energi.Cukup klik tombol "Operasi / Analisis Kualitatif" untuk menampilkan simbol elemen yang sesuai di setiap posisi puncak spektrumAnalisis kualitatif otomatis memiliki kecepatan pengenalan yang cepat, tetapi karena gangguan serius dari tumpang tindih puncak spektrum, kesalahan tertentu akan terjadi.

2. Analisis kuantitatif: Analisis kuantitatif adalah untuk mendapatkan konsentrasi berbagai elemen yang membentuk bahan sampel melalui intensitas sinar-X.orang telah mencari dan mengusulkan metode untuk mengukur rasio intensitas sampel yang tidak diketahui dan sampel standar, dan kemudian mengubah rasio intensitas menjadi rasio konsentrasi setelah koreksi kuantitatif.

3Analisis distribusi permukaan unsur: Dalam kebanyakan kasus, sinar elektron hanya ditembakkan ke titik tertentu dari sampel untuk mendapatkan spektrum sinar-X dan kandungan komponen dari titik ini,yang disebut metode analisis titikDalam SEM baru modern, sebagian besar keadaan distribusi komponen yang berbeda dari area tertentu dari sampel dapat diperoleh, yaitu: menggunakan perangkat pengamatan pemindaian,sinar elektron dipindai dua dimensi pada sampel, dan intensitas sinar-X karakteristiknya diukur,sehingga perubahan kecerahan yang sesuai dengan intensitas ini disinkronkan dengan sinyal pemindaian dan ditampilkan pada tabung sinar katoda CRT, dan gambar distribusi dua dimensi dari intensitas sinar-X karakteristik diperoleh.yang merupakan metode yang sangat nyaman untuk mengukur distribusi dua dimensi elemen.